westrongmc 发表于 2015-4-29 00:41
这个平台的振动是接近稳态的单频振动（大约10Hz）吗？
如是，要达到0.1微米[假设是峰峰值]的位移测量精 ...
达到0.1微米的测量精度，除了要考虑传感器的灵敏度外，还应该考虑采集卡的量程以及AD位数吧，采集卡量程过大或AD位数较小应该也不行吧
低频用速度传感器就可以了。一般的厂家都可以的。要贵的选国外的，要便宜的选国产的。跟你的预算有关系
0.1微米的位移测量精度可以直接用位移传感器（电涡流或者激光），精度都可以达到，用加速度或速度积分毕竟都有误差，需要滤波器的设置，才疏学浅，喷请轻喷