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[振动控制] [求助]高精密定位平台隔振器选型

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发表于 2008-7-30 10:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

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小弟现给一台XYZT精密定位平台搭配相关的隔振器,平台带大理石基座总重600kg。xy轴运动周期为0.5s,转轴T为5rps。想问下各位前辈选择隔振器的一个流程?我应该计算那些东西]

[ 本帖最后由 xmwhit 于 2008-7-31 21:01 编辑 ]
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发表于 2008-7-31 08:11 | 显示全部楼层

可否给平台更详细的参数!我想我能帮上忙

采用空气隔振器\空气固有频率低\防振效果佳,为目前大多数精密设备采用.
发表于 2008-7-31 08:36 | 显示全部楼层
做精密仪器基础设计需要考虑的因素有:
1、设备对振动的要求,如,振动幅值限制,设备频率特性等;
2、了解环境振动条件,如,周围有没有大的振源,场地的振动频率范围,振幅大小等;
3、场地地质条件,如,地基承载力大小,土质情况等;
4、周围建筑物布置,如,所在房屋的大小,墙柱基础的布置等;
5、选取隔振方案,如,设备隔振,还是基础下隔振等;
6、确定隔振参数,如,隔振的固有频率,阻尼参数等;
7、选取隔振器,可以使用,弹簧阻尼隔振器,空气弹簧,橡胶垫等。

如果方便的话,请把有关参数资料告诉我,我来帮你分析一下。
 楼主| 发表于 2008-8-4 10:06 | 显示全部楼层
1.设备固有频率特性?说实话,不懂.是指其固有频率吗?振动幅值限制指得是什么?
2.周围环境的振动我也没法给出,用在FAB厂的。
3.
4.
5.采用设备隔振
6.
7。最出选择了newport的橡胶隔振,但是其承载不够,只能重新选择。IDE or TMC。
设备的参数,二楼想知道什么?
行程xy380*320mm,z10mm。xy 100mm in 0.3s settling to 0.1um.z 200um in 0.1s settling to 10nm.
其他的xy重复性±0.5um,z 重复性0.05 um
 楼主| 发表于 2008-8-4 10:09 | 显示全部楼层

回复 3楼 的帖子

谢谢,请参见帖子!希望可以和大家讨论下。
发表于 2008-8-6 14:23 | 显示全部楼层

给楼主一个方案

:@)
问题汇总:
1、机器的类型?Kind of machine?-精密定位平台
2、机器有多重?Weight of machine?-600kg
3、运动部件参数?速度、加速度acceleration、velocity。-转轴T为5rps、xy轴运动周期为0.5s,转轴T为5rps
4、几个支脚?How many feets?-默认四个
5、自由放置还是固定在地板?How should the machine stand?free or fixed with ground?-自由放置
6、尺寸-看详细图纸
7、对振动的要求。

采用气浮隔振。
选用空气弹簧Air-spring:
四个或者三个德国BILZ隔振技术公司的空气弹簧BiAir系列。由载荷选型(选型手册有详细参数)。
配一套控制系统:
三个位移传感器,一套气路管线。建议选用机械气动水平控制系统或者电控气动水平控制系统。

这个方案比较合理。
欢迎来电来函021-62416635-21张
hansen@renwang.cn:@)
发表于 2008-8-6 14:31 | 显示全部楼层
发表于 2008-8-8 09:59 | 显示全部楼层

回复 3楼 wanyeqing2003 的帖子

很正确, 也很完整.
发表于 2008-9-9 13:57 | 显示全部楼层
目前最好的:空气弹簧+主动阻尼器
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